皮拉尼真空計選型與使用建議

選型與使用建議（規避劣勢的實操方案）

1. 場景匹配優先：

• 中低真空（10?1～10?? Pa）、單一氣體（空氣 / 氮氣）、連續監測場景（如真空泵配套、真空鍍膜機）：優先選皮拉尼真空計（性價比    高）；

• 超高真空、多氣體混合、高精度需求場景：選電容薄膜真空計（高精度）或組合真空計（皮拉尼 + 電離）。

2. 型號選型技巧：

• 多氣體場景：選支持多氣體校準曲線的型號（如 HORIBA PG-300，內置 10 + 種工藝氣體曲線）；

• 高精度需求：選恒溫模式型號（如 ULVAC GP-200，精度 ±1% FS），避免恒流模式的溫度漂移；

• 惡劣環境：選帶防污染燈絲（氮化硅涂層）、高溫探頭的型號。

3. 使用維護要點：

• 定期清潔探頭（每 3-6 個月）、校準（每 6-12 個月）；

• 安裝時遠離熱源、垂直固定、密封良好；

• 混合氣體場景需提前獲取氣體成分，進行修正系數設置。